KOH刻蚀清洗机

江苏清芯半导体KOH刻蚀清洗机专注于硅片各向异性湿法腐蚀工艺,广泛应用于压力传感器、功率器件、晶圆等研发。 设备采用模块化槽式涉及,支持KOH刻蚀、QDR快速漂洗、DI冲洗、干燥等多工艺自由组合,可兼容2英寸、4英寸、6英寸、8英寸晶圆处理,满足高校实验室、科研院所及小批量研发产线对快速试错、灵活工艺和工艺迭代的需求。

2–8英寸KOH刻蚀清洗机|江苏清芯半导体科技有限公司

特点:

  • 硅各向异性腐蚀

  • KOH刻蚀

  • 2–8英寸兼容(可定制)

  • 温控精度±1℃

  • PTFE/PVDF槽体

  • 非标定制

  • 了解需求后快速出方案、快速改图


参数内容
晶圆尺寸2/4/6/8吋
温控范围RT-80℃
控温精度±1℃
材质PVDF/PTFE等
自动化手动/半自动/自动
交付周期一般60天,视工艺需求,按最终合同为准
售后响应时间0.5h



2–8英寸KOH刻蚀清洗机|江苏清芯半导体科技有限公司

特点:

  • 硅各向异性腐蚀

  • KOH刻蚀

  • 2–8英寸兼容(可定制)

  • 温控精度±1℃

  • PTFE/PVDF槽体

  • 非标定制

  • 了解需求后快速出方案、快速改图


参数内容
晶圆尺寸2/4/6/8吋
温控范围RT-80℃
控温精度±1℃
材质PVDF/PTFE等
自动化手动/半自动/自动
交付周期一般60天,视工艺需求,按最终合同为准
售后响应时间0.5h



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