什么是DIW漂洗？
DIW漂洗是利用18MΩ超纯去离子水对晶圆表面进行残液置换、离子清除及颗粒带走的重要湿法工艺。
广泛应用于酸洗、碱洗、RCA、有机清洗及刻蚀后的漂洗过程。
常见DIW漂洗问题
离子残留
漂洗不足会导致酸碱离子残留，影响后续工艺稳定性。
颗粒污染
水路洁净度不足或过滤失效会造成颗粒返附。
电阻率波动
DIW品质下降会影响漂洗洁净度。
漂洗不均
流场死角导致局部残液无法完全置换。
排液效率低
QDR节拍设计不合理会影响换液效率。
水痕残留
干燥衔接不佳会产生水痕或表面斑点。
江苏清芯DIW漂洗方案
| 模块 | 清芯方案 | 作用 |
|---|---|---|
| DIW喷淋 | 全覆盖喷淋系统 | 快速带走表面残液 |
| 鼓泡 | N₂鼓泡辅助 | 增强液体扰动 |
| 溢流系统 | 持续溢流更新 | 提高换液效率 |
| QDR快排 | 高速进排水控制 | 降低残留浓度 |
| 过滤系统 | 0.1–0.2μm过滤 | 减少颗粒污染 |
| 在线监测 | 电阻率实时监控 | 保证DIW品质稳定 |
推荐DIW工艺参数
| 参数 | 推荐值 |
|---|---|
| DIW电阻率 | ≥18MΩ·cm |
| 漂洗时间 | 3–8 min |
| QDR循环次数 | 3–5次 |
| 过滤精度 | 0.1–0.2μm |
| 水温 | 20–25℃ |
常用DIW漂洗方式
| 方式 | 特点 | 适用场景 |
|---|---|---|
| 喷淋漂洗 | 快速冲刷 | 表面残液去除 |
| 鼓泡漂洗 | 增强扰动 | 深槽结构 |
| 溢流漂洗 | 持续置换 | 高洁净需求 |
| QDR快排 | 高效率换液 | 量产节拍优化 |
适用场景
RCA漂洗
去除SC1/SC2残液。
KOH后漂洗
降低碱残留污染。
有机清洗后漂洗
置换NMP及IPA残液。
FAQ
为什么DIW电阻率必须≥18MΩ？
确保超纯水离子含量极低，避免离子污染。
QDR的作用是什么？
快速置换槽液，提高漂洗效率并降低残留。
为什么DIW后还要干燥？
避免表面形成水痕和残液印。
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