科研级湿法刻蚀全自动设备

一、江苏科技有限公司科研级全自动设备核心亮点

1.全自动化精密控制

精准配液：可自动上液、精准配比，实时液位监控，缺液提醒并自动补液。

工艺流程自控：可以预设流程与功能，自动流转。

节约科研成本：自动开关盖与循环过滤，防止挥发，节省药液。

自动清洁：可选喷淋、槽体自清洁或机器人自动清洁台面

2.高度灵活，适配度高

六轴机器人，动作与工艺自定义：可提取花篮、抓取晶圆和无尘布等；可根据工艺流程设计运动轨迹；具备防碰撞停止及报警功能；具备视觉功能，随时观察夹手及槽内情况。

兼容多尺寸科研样品：独特花篮设计，兼容8″及以下晶圆、碎片样品，可定制。

兼容多种工艺：按需设计工艺槽，满足科研灵活需求，精简设计一台抵多台。

工艺选型（可按需定制）：

细节展示：

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文章摘要：江苏清芯半导体科技有限公司专注于的研发制造，提供高精度、智能化的半导体湿法刻蚀解决方案。公司产品广泛应用于半导体科研、特种器件制造等领域，致力于推动中国半导体设备国产化进程。