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湿法刻蚀设备，BOE（Buffered Oxide Etch）刻蚀过程中，温度是影响刻蚀速率与均匀性的关键参数之一。一般来说，温度升高会加快刻蚀速率，但也会带来速率波动变大和均匀性下降的风险。
因此，工艺优化的核心在于稳定控温而非单纯提高温度，通常通过恒温循环系统、耐HF材质的温控结构以及槽体循环设计，来减少温度波动和局部温差。
同时，控制晶圆入槽温差与实时温度监测，也有助于提升刻蚀一致性与良率。
总体而言，稳定的温度控制是保证BOE刻蚀精度、均匀性和批次一致性的关键因素。
