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ACCON 2025|我司受邀参加高端芯片产业创新发展大会!
会议主题:ACCON 2025高端芯片产业创新发展大会
会议地点:武汉·万达瑞华酒店 3F大宴会厅
会议日期及时间: 2025年11月6日
公司名称Company name:江苏清芯半导体科技有限公司
演讲题目Title of the Presentation:《国产湿法设备在科研项目中的关键升级与可靠性验证》
演讲人简介:江苏清芯半导体科技有限公司总经理,拥有10余年半导体湿法行业经验,拥有数十种湿法刻蚀设备与工艺相关的发明和实用新型专利,在半导体及相关高科技领域拥有深厚的技术积淀与经营管理能力。参与过多所高校微电子科学、集成电路、电子信息工程的工艺线建设,参与研发的“科研半导体湿法系统”获日内瓦国际发明展金奖。
演讲摘要:本次演讲将重点介绍我们自主研发的新一代科研级湿法刻蚀全自动设备。为满足前沿科研对工艺精准性与重复性的严苛要求,设备在多点温控、在线浓度监测、全自动机械臂传送等核心模块上实现了关键升级,显著提升了工艺控制的精度与稳定性。基于与多家高校及实验室合作开展的科研项目,我们对多种半导体材料进行对比测试,充分验证设备在刻蚀效果、数据一致性与长期可靠性方面的优异表现。最后,我们将结合项目经验,进一步探讨国产湿法设备在未来科研应用中的升级路径,并展望其向规模化量产过渡所面临的机遇与挑战。